超声波加工工艺规律可归纳为以下几个方面：

加工速度及其影响因素 加工速度指单位时间内去除材料的多少，以mm3 /min或g/min为单位来表示。影响加工速度的因素主要有工具的振幅和频率、进给压力、磨料的种类和粒 度、被加工材料、磨料悬浮液的浓度。

(1)工具振幅和频率的影响 过大的振幅和过高的频率会使工具和变幅杆承受很大的内应力，振幅一般在 0.01～0.1mm之间，频率在16000～25000Hz之间。 在实际加工中需根据不同工具调至共振频率，以获得最大振幅，从而达到较 高的加工速度。

(2)进给压力的影响 加工时工具对工件应有一个适当的进给压力。 压力过小时，工具端面与工件加工表面间的间隙增大，从而减少了磨料对工 件的锤击力; 压力增大，间隙减少，当间隙减少到一定程度则会降低磨料与工作液的循环 更新速度，从而降低生产率。

(3)磨料种类和粒度的影响 加工时针对不同强度的工件材料可选择不同的磨料。磨料强度愈高，加工速度愈快，但要考虑价格成本。 加工宝石、金刚石等超硬材料，必须选用金刚石;加工淬火钢、硬质合金， 应选用碳化硼;加工玻璃、石英和硅、锗等半导体材料，选用氧化铝磨料。

(4)被加工材料的影响 被加工材料愈硬脆，则承受冲击载荷的能力愈低，愈易被去除加工，反之， 韧性愈好，愈不易加工。

(5)磨料悬浮液浓度的影响 磨料悬浮液浓度低，加工间隙内的磨粒少，特别是在加工面积大、深度较大 时可能造成加工区局部没有磨料，使加工速度大大降低。 磨料浓度的增加，加工速度也增加，但浓度太高，磨粒在加工区域内的循环 运动和对工件的撞击运动受到影响，又会导致加工速度降低。